对于缓慢变化或微小量的测量，一般来说采用电容位移传感器进行检测比较适宜，主要是这类传感器具有以下突出优点：

1、测量范围大   其相对变化率可超过100%；

2、灵敏度高   如用比率变压器电桥测量，相对变化量可达10-7数量级；

3、动态响应快   因其可动质量小，固有频率高，高频特性既适宜动态测量，也可静态测量；

4、稳定性好    由于电容器极板多为金属材料，极板间衬物多为无机材料，因此可以在高温、低温强磁场、强辐射下长期工作，尤其是解决高温高压环境下的检测难题。

本文将要说到的电子显微镜应用就需要电容位移传感器的支持（原因：采用电子显微镜进行纳米操作,在硬件装备中有一项关键技术,那就是要解决载物台或其相应设备的高精度的自动测量和精确定位。）

应用方案说明：显微镜移动台在移动停止后会有一定的反弹，平台移动总的的位移量有几毫米，但反弹量很微小，但反弹量决定了平台的移动精度。可以使用电涡流传感器测量平台的较大范围的移动，使用ZNXsensor电容位移传感器测量反弹的微小位移。

    深圳市真尚有科技有限公司的ZNXsensor型超精密电容位移传感器（双通道电容传感器），这是一种非接触式的电容位移传感器；两个传感器板形成一个平行板电容器，每个传感器可用在两个不用的测量范围；纳米分辨率；零磁滞。

   其主要特点有：

量程20～1250μm；

分辨率<0.1nm；零磁滞；

线性最高0.02%；

频带可调：50～5000Hz；灵敏度可调； 

真空兼容选项；