真尚有科技ZNXsensor 电容传感器是一种非接触式的电容位移传感器。其优势为纳米分辨率、零磁滞。
ZNXsensor 电容传感器的两个传感器板形成一个平行板电容器。每个电容传感器可用在两个不用的测量范围。
电容式位移传感器是通过改变电容两极板间的电荷实现测量的。常用的方法有三种:变极板间距离的变极距型;改变极板面积的变面积型;还有就是改变介质介电常数的变介质型。现在所介绍的是变极距型的电容式位移传感器。
电容式位移传感器应用领域:
压电微位移、振动台,电子显微镜微调,天文望远镜镜片微调,精密微位移测量等。
ZNXsensor 电容传感器应用领域:
压电微位移、振动台,电子显微镜微调,
天文望远镜镜片微调,精密微位移测量等。
ZNXsensor 电容传感器主要特点:
线性最高0.02%;
频带可调:50~5000Hz;灵敏度可调;
量程20~1250μm;
分辨率<0.1nm;零磁滞;
真空兼容选项;