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NIST可溯源校准
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无需温度或压力补偿，即可读取和控制气体质量流量
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可选经济实惠的铝质结构和耐腐蚀的316不锈钢结构
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LCD显示屏角度可调，方便读数
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FMA5400／5500系列电子气体质量流量控制器可控制流速在10 SCCM到1000 SLM范围内的多种气体的流量。FMA5400／5500利用通过加热管进行的热传递直接测量气体质量流量，并且无需对（规定限值以内）的气体温度或压力变动进行补偿。该产品提供用于测量普通气体流量的经济型铝质／铜质结构，以及用于有更高耐腐蚀要求应用场合的316不锈钢结构。不带一体式显示屏的FMA5400系列控制器具有0 ~ 5 Vdc和4 ~ 20 mA模拟输出，以便进行远程监测；FMA5500系列控制器兼具一体式3?位数字显示屏和模拟输出。显示屏可倾斜90度，查看读数时很方便，显示屏还经过校准，可直接显示以SCCM或SLM为单位的氮气流速，可以通过专门订购来获得其它气体校准。
FMA5400／5500质量流量控制器带有内置式电磁阀，无论入口或出口压力如何变化，都能保持稳定的流速。设定值可通过电位器（通过壳体上的窗口可调整该电位器）本地控制，或者可以通过0 ~ 5 Vdc或4 ~ 20 mA（现场可选）模拟信号远程控制。
FMA5400／5500系列控制器需要使用12 ~ 15 Vdc电源（最大电流800 mA），FMA545PW壁装插接式插座电源可满足其要求，24 Vdc电源输入（最大电流650 mA）可作为选件提供。电子装置具备反向极性保护，并配有自恢复保险丝。型号FMA545C （单独提供）提供了一个带2.4 m (8')屏蔽电缆的插接式15针"D"连接器，可用于模拟输出信号和电源输入连接。FMA5500系列控制器的LCD通过模块化插头与里面的电子设备相连。通过购买FMA18RC远程电缆组件可以远程安装LCD，但是，您必须自行制作面板安装组件以便进行LCD的面板安装。
规格:
精度： 满量程的±1.5%，包括在15 ~ 25°C (59 ~ 77°F)以及0.7 ~ 4.2 kg/cm2 (10 ~ 60 psia)范围内的线性度；对于流量 =100 SLM的控制器，在0 ~ 20%量程范围内精度为满量程的±3%
重复性： 满量程的±0.5%
温度系数： 满量程的0.15%/°C
压力系数： 每psi (0.07 bar)为满量程的0.01%
最大压降： 50 psid
响应时间：在满量程的25 ~ 100%范围大约5秒达到设定流速的±2%内
最大气体压力： 35 kg/cm2表压(500 psig); 1.76 kg/cm2 (25 psig)最适宜
气体和环境温度： 5 ~ 50°C (41 ~ 122°F)
泄漏完整性： 对于外界环境，最大泄漏为1 x 10-7 cc/sec氦气
接液材质：
铝质型号： 阳极氧化铝、316不锈钢、铜和氟橡胶O形圈
不锈钢型号： 316不锈钢和氟橡胶O形圈
输出信号：
线性0 ~ 5 Vdc： 最小负载1000 V
4 ~ 20 mA： 环路电阻为50 ~ 500 V，最大噪声±20 mV
传感器电源： 12 Vdc @ 800 mA
（标配）; 24 Vdc @ 650 mA（可选）
量程比： 50:1
运输重量： 1.8 kg (4 lb)
顺从标准： EN55011 1类，B类；EN50082-1
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