在被测体上方和下方各安装一个在线测厚仪,被测体厚度D=C-(A+B)。其中,C是两个传感器之间距离,A是上面传感器到被测体之间距离,B是下面传感器到被测体之间距离。图中:SMR是指传感器量程起始间距,MR是指传感器量程。
在线测厚仪测量用这种方法优点是可消除被测体振动对测量结果的影响。但同时对传感器安装和性能有要求。
保证测量准确性的条件是:两个传感器发射光束必须同轴,以及两个传感器扫描必须同步(见本文附图)。同轴是靠安装实现,而同步要靠选择有同步端激光传感器。如真尚有ZLDS10X系列在线测厚仪都有同步端。
同步工作示意图:
不同步将代来很大误差:如果被测体存在振动频率20HZ,振幅1mm,如果信号不同步延迟1ms,那么就会带来125μm误差
安装两个激光在线测厚仪同轴示意图:
安装使两个激光在线测厚仪同轴,不但确保被测体同一位置上的厚度,同时降低了被测体倾斜带来的误差。以被测体运动方向不同轴为例,当不同轴1mm,被测体倾斜2°可带来35μm误差。
在线测厚仪主要特点:
◆分辨率最高可达1um,线性度最高3um;
◆测厚系统:2个传感器成对安装,能自动主从识别,构成测量仪,进行在线厚度、宽度等实时测量,无需控制器;
◆实时可编程功能:数值计算、数字传输速度、模拟设置、滤波器等;