共焦传感器测量原理
NLS11/12共焦传感器测量系统基于光谱共焦的原理,由光学头和控制器组成,之间通过一根光缆连接。共焦传感器进行了小型化的封装,便于集成到现有的系统中。
共焦传感器应用领域
应用于表面难以测量的物体(技术性及困难表面),是一种非接触式轮廓测量的通用的测量解决方案。理想情况下,共焦传感器适合于敏感的,软的或液体的表面。适用于微机械工程,电气工程,光学行业,塑料和造纸行业,半导体和PCB产业的检测,工具行业等。
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◆纳米级分辨率;与光强度无关,与被测体反射系数无关;
◆适用各种金属、非金属,以及透明材料的表面位置、位移测量。并与被测体表的亮暗无关;
◆精致紧凑光路结构,光学传感器头离控制器几米远,给使用带来方便;
◆单向可测玻璃厚度、透镜厚度,以及透明薄膜厚度测量;
◆与三角反射法不同,几乎无反射角要求,且无反射平面阻挡之影响,因此可用于小孔深度测量;
◆对环境要求不高:无需附加背景光,对被测体温度不敏感, 对被测体表面色差和纹理不敏感;
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