机器视觉是机器(通常指数字计算机)对图像进行自动处理并报告“图像中有什么”的过程，也就是说它识别图像中的内容。

机器视觉系统一般以计算机为中心，主要由视觉传感器、高速图像采集系统及专用图像处理系统等模块构成。


晶圆级滤光片检测的基本原理


晶圆级滤光片中的各种杂质，在光学特性上必然与晶圆级滤光片本身有差异。当光线入射晶圆级滤光片后，各种杂质会在反射、折射等方面表现出与周围晶圆级滤光片不同的异样。例如，当均匀光垂直入射晶圆级滤光片时，如晶圆级滤光片中没有杂质，出射的方向不会发生改变，所探测到的光也是均匀的；当晶圆级滤光片中含有杂质时，出射的光线就会发生变化，所探测到的图像也要随之改变。由于杂质的存在，在其周围就发生了应力集中及变形，在图像中也容易观察。若遇到光透射型缺陷（如裂纹、气泡等），光线在该缺陷位置会发生折射，光的强度比周围的要大，因而相机靶面上探测到的光也相应增强；若遇到光吸收型（如砂粒等）杂质，则该缺陷位置的光会变弱，相机靶面上探测到的光比周围的光要弱。分析相机采集到的图像信号的强弱变化、图像特征，便能获取相应的缺陷信息。


晶圆级滤光片检测设备简介


IR-Cut filter表面缺陷自动化检测设备是基于晶圆级滤光片产品的生产现状，对现有劳动力密集的人工品质检测工艺环节进行自动化改造，通过研究设计一款晶圆级滤光片表面品质自动化检测和分拣设备来替代人工检测。本项目研发设计内容主要由表面缺陷自动识别系统设计、物流传送系统及联动控制设计，正次品分拣机械手设计等三个部分组成。


通过该设备的成功实施预期能实现晶圆级滤光片表面品质缺陷特征的自动识别、正次品自动分拣、检测精度达到10微米、检测速度到180片/分钟的目标。

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