ZSY可以提供软件、硬件工程支持的服务以帮助顾客完成设计、升级。同时将ZSY的纳米产品完全集成到客户的系统中去,这样不仅为客户控成本,而且可以满足客户的特殊需要。
例如,在俄亥俄州克里威力得的德尔福汽车系统开发团队要求ZSY提供基于NG传感器的完全方案系统来生产他们的元件插入设备。他们的设备是设计通过按照预定的顺序移动150mm*150mm元件支架,并在每个位置插入元件。放置每个元件花费7ms,每秒可放置6-7个元件(350个元件每分钟),工作台的的运动和精度必须保证元件被精确的定位,每个插入位置的误差小于30um。不管是累计或是瞬时的错误都可能导致设备故障,从而生产出潜在的劣质品或是不良品。德尔福用ZSY的硬件和软件来设计、升级他们的系统,通过使用NG系统来测量预定元件布局模式的运功响应,以校准工作台的移动精度。
设备的运动状态由NG系统决定,二维超精密平面位移测量系统提供次纳米定位精度和213mm*213mm的面积覆盖。NG是是一种基于XY栅格的编码系统,这是一种可以避免湍流效应和阿贝误差的系统。湍流响应是激光干涉仪普遍存在的问题,而阿贝误差则是一种与单独线性尺度相关的误差。NG捕获激光干涉在制造网格时的精度,同时通过一种更低成本的、更方便的方式对其进行封装。系统的输出达到750KHz的频率,每轴是0.3nm的分辨率(A Quad B可选)和(375KHz 双轴)的全32位数据位。
这个系统主要包含:附带光电网的NG传感器系统和标准的PC机ISA总线接口卡,用一张现有的数据采集卡来采集元件插入“步进”的脉冲,我们在一个标准的台式电脑主机上进行测试执行时,并且提供一个用户友好的图形界面软件。该系统被看成是一个在元件排版布局过程中移动工作台的“被动的观察者”。测试仅仅是分析工作台做周期运动时的运动情况。