目标

    1 能够精确地调整和保持半导体晶片在进行物理气相沉淀（PVD）室中整齐排列。

    2 避免在进入沉淀室时，由于排列不整齐而造成晶片损坏。

    3 确保沉淀物统一地沉淀在晶片上。

解决方案

    微位移传感器在物理气相沉淀系统中，晶片会被放入不同的沉淀室里，每一个沉淀室用来沉淀不同的物质。传感器被安装在沉淀室的内侧（如图所示）。每个传感器测量载有晶片的传送器在沉淀室中的位置。Kaman系统提供了模拟和数字两种输出信号，以防止超出系统可承受的范围。

    结果：提高了时间和精度。

微位移传感器特点

     1 类型：SMT-9700

     2 非接触性：应用涡电流的技术，每一个传感器均可以无接触地测量到目标体的位置。

     3 高分辨率：系统可识别

     4 重复性：  Kaman传感器可以提供高精度的性能，可以反复用于物理气相沉淀。

     5 系统多功能性：测量系统可以广泛用于测量的各个领域。

微位移传感器解决方案

     在沉淀开始前，Kaman传感器确保金属盘与喷洒器保持平行的位置关系，喷洒器用来均匀喷射气体(如图所示)。传感器则用来做校准装置，这样校准可以定位金属盘在一个最合适的位置。Kaman系统提供了模拟和数字两种输出信号，以防止信号值超出可承受范围。如果金属盘倾斜，制动装置将校正其位置。

 微位移传感器能静态和动态地非接触、高线性度、高分辨力地测量被测金属导体距探头表面的距离。它是一种非接触的线性化计量工具。电涡流传感器能准确测量被测体（必须是金属导体）与探头端面之间静态和动态的相对位移变化。