英国真尚有ZNXsensor高精度纳米位移传感器是通过改变电容两极板间的电荷实现测量的。常用的方法有三种：变极板间距离的变极距型；改变极板面积的变面积型；还有就是改变介质介电常数的变介质型。现在所介绍的是变极距型的高精度纳米位移传感器。
ZNXsensor高精度纳米位移传感器应用领域：
压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。
该高精度纳米位移传感器是一种非接触式的电容位移传感器；两个传感器板形成一个平行板电容器，每个传感器可用在两个不用的测量范围；纳米分辨率；零磁滞。
ZNXsensor高精度纳米位移传感器主要特点：
量程20～1250μm；
分辨率<0.1nm；零磁滞；
线性最高0.02%；
频带可调：50～5000Hz；灵敏度可调；
真空兼容选项；
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英国真尚有集团
深圳市真尚有科技有限公司
电话：0755 - 26528100 / 26528011/26528012
传真：0755-26528210/26435640
技术规格：
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传感器型号
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ZNXA
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ZNXB
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ZNXC
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ZNXD
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小量程μm
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-
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20
|
100
|
250
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|
灵敏度μm/V
|
-
|
2
|
10
|
25
|
|
噪音nm rms Hz-1/2
|
-
|
<0.001
|
<0.005
|
<0.013
|
|
温漂nm/K
|
-
|
1
|
4.4
|
11
|
|
线性度%
|
-
|
<0.08
|
<0.03
|
<0.06
|
|
大量程μm
|
50
|
100
|
500
|
1250
|
|
灵敏度μm/V
|
5
|
10
|
50
|
125
|
|
噪音nm rms Hz-1/2
|
<0.08
|
<0.015
|
<0.075
|
<0.188
|
|
温漂nm/K
|
2.2
|
4.4
|
22
|
55
|
|
线性度%
|
<0.08
|
<0.08
|
<0.05
|
<0.06
|
|
频响Hz
|
50/500/5000
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控制器型号
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NS2000
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NM2110
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S2000和NS模块
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NM3330
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传感器通道最大个数
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1
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1
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14
|
3
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供电
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±15V，70mA
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90～130V或220～260V
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90～110V或110～130V或220～260V
|
90～260V
|
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模拟输出V
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±5
|
±5
|
±5
|
|
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数字输出
|
|
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16位(可选)
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7位浮点数
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频响KHz
|
5
|
5
|
5
|
12.5
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