两个精确匹配的电涡流传感器被放置在被测物平台两侧，这两个传感器组成了平衡桥电路相反的两端，这个结构提供了极好的线性和热稳定性，所以其输出准确地记录了线性的最微小移动。具有高分辨率、高灵敏度，使用于被测材料为铝、铜等导电材料；有单、双通道配置；
电涡流传感器应用领域
应用于磁悬浮轴承定位、精密构件平衡、集成电路制造平台定位等。如激光反射镜聚焦平台定位，精确望远镜定位，磁悬浮轴定位。
电涡流传感器主要特点
埃米级分辨率；
频响: 0～22KHz；
线性度:±0.1～1%；
量程：±0.25mm /±1.915mm；
高灵敏度，最高394mV/μm；
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英国真尚有集团
深圳市真尚有科技有限公司
电话：0755 - 26528100 / 26528011/26528012
传真：0755-26528210/26435640
技术规格：
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型号
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DIT5200
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传感器
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15N
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20N
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15N
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20N
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15N
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20N
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20N
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量程mm
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±0.25
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±0.25
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±0.51
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±0.51
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±0.89
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±1.27
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±1.91
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安装间隙mm
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0.38
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0.51
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0.64
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1.02
|
1.02
|
1.52
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2.16
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线性度%FR
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±0.15
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±0.1
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±0.25
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±0.15
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±0.5
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±0.25
|
±0.5
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最大线性度%FR
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±0.3
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±0.2
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±0.5
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±0.3
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±1
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±0.5
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±1
|
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传感器温度系数%FR/℃
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0.02
|
0.02
|
0.03
|
0.02
|
0.03
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0.03
|
0.03
|
|
分辨率(带宽1KHz，FR)%FR
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0.015
|
0.025
|
0.008
|
0.015
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0.005
|
0.008
|
0.005
|
|
分辨率(带宽1KHz，安装间隙)%FR
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0.004
|
0.005
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0.002
|
0.005
|
0.003
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0.003
|
0.002
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双通道编号
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854924-003
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854925-002
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854924-004
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854925-003
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854924-005
|
854925-004
|
854925-005
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被测材料
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铝
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输出电压V
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±10
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功率mW
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传感器头(15N)：<0.5，传感器头(20N)：<2，前置器：<1.35W
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频响KHz
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0～20
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输入电压V
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±15
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输出电阻Ω
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<1
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重量g
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前置器：170.1，W/4 15N传感器：226.8
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工作温度℃
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前置器：0～+60，传感器：-52～+105
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储存温度℃
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前置器：-32～+82，传感器：-52～+105
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备注：满量程(FR)被视为两倍的±量程值。
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