微米位移传感器ZCS1100是一个单一的通道,高性能线性位移测量系统,电容传感器创新的电容位移测量技术,提供了纳米测量能力,成本低,适合测量任何导电目标。
微米位移传感器是一种非接触式的电容位移传感器;两个传感器板形成一个平行板电容器,每个电容传感器可用在两个不用的测量范围;纳米分辨率;零磁滞。
微米位移传感器应用领域
压电微位移、振动台,电子显微镜微调,天文望远镜镜片微调,精密微位移测量等。
微米位移传感器实际的基本包括了一个接收器Tx与一个发射器Rx,其分别都具有在印刷电路板(PCB)层上成形的金属走线。在接收器与发射器走线之间会形成一个电场。电容传感器却可以探测与传感器电极特性不同的导体和尽缘体。
微米位移传感器主要特点
纳米级分辨率;
线性0.08%;
灵敏度可调;
量程:240μm;
分辨率:0.1nm;
供电:±15VDV;
高性能、成本低,尺寸小巧;
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