分类:位移传感器 品牌:ZSY-真尚有 厂商:深圳市真尚有科技有限公司 型号:在线薄膜测厚仪 相关行业:
应用背景
当今微电子薄膜,光学薄膜,抗氧化薄膜,巨磁电阻薄膜,高温超导薄膜等在工业生产和人类生活中的不断应用,在工业生产的薄膜,其厚度是一个非常重要的参数,直接关系到该薄膜材料能否正常工作。如大规模集成电路的生产工艺中的各种薄膜,由于电路集成程度的不断提高,薄膜厚度的任何微小变化,对集成电路的性能都会产生直接的影响。除此之外,薄膜材料的力学性能,透光性能,磁性能,热导率,表面结构等都与厚度有着密切的联系。
解决方案
采用ZM105激光测径仪检测:将薄膜套在标准轴上,通过测标准轴和套薄膜的标准轴的直径,间接检测薄膜的厚度。精度±2μm,如下图1:
图1:ZM105
图2:检测方法
应用领域
可用于物体尺寸的非接触测量与控制,如零件高度、边缘、直径、线径、宽度、间隙、内径、外径等。有效降低了生产后的单件检验成本,并能有效节省原物料的损耗,降低人员需求。
ZM105的主要特点
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高精度:最高线性度±2um;
量程范围广:可测500mm外径的物体(可根据实际情况定制更大外径型号);
支持多个传感器同步采集(确保工业在线高精度差动测厚);
可以对操作系统实施不同的参数设置,改变测量方式;
在PC上十分直观的显示出测量值,方便对测量过程实施监控;
ZM100系列产品采用半导体激光器发射的激光(波长660nm)作为探测信号,抗干扰能力强
ZM105产品采用LED光源,测量精度高
系统带有额外的四条输出信号,带负载能力强;
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