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ZLDS/N-100测半导体的振动

ZLDS/N-100测半导体的振动

分类:位移传感器
品牌:ZSY-真尚有
厂商:深圳市真尚有科技有限公司
型号:ZLDS/N-100测半导体的振动
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发布时间:2013-07-16 09:10
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产品详情

 ZLDS/N-100激光传感器可测量半导体的振动,用于微小振动实时检测。用于很容易与现有设计相接合,而且具有较大的基准距,相当于一个高分辨率的电容传感器。对于定点测量,振动测量,表面轮廓测量,ZLDS/N-100都是一款理想的测量工具。

ZLDS/N-100是一款非接触式高精度光学位移传感器,具有100微米的量程和15纳米的分辨率。激光传感器的起始测量距离是3mm,对于被测体有较宽的适用范围,比如金属,半导体和玻璃。

 

激光传感器应用领域:

应用于光盘、硬盘的在线检测,还可以应用于电机等强磁场测振和表面轮廓测量。

ZLDS/N-100激光传感器主要特点:

宽频带,可测高频振动体;

对被测体表面要求低,反射率4100%均可用;

高分辨率,可替代电容式传感器;

对电磁场不敏感,可用于电机等强磁场测振;

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