规格参数

前置器

传感器

测量范围mm

静态分辨率μm

工作温度(查看备注)

KD-2300

KD-2440

KD-5100

DIT-5200

8000系列

SMU-9000

KμDA

.5SU, .5U1

0.5

0.1

1

√

√

.5SUM, .5U2★

0.5

0.1

1

√

√

2U

0.5

1

√

√

√

15N

0.9

1

√

√

√

1S

1

0.1

1

√

1SM★

1

0.1

1

√

1U1

1

0.1

1

√

√

√

1UEP★

1

0.1

2

√

√

1SU

1.3

0.12

1

√

1SUM★

1.3

0.12

1

√

4U

1.3

2

√

√

5U

1.3

1

√

20N

1.9

1

√

√

√

2S1★★

2

0.2

1

√

√

2UB1★★

2

0.2

1

√

√

2UEP★★

2

0.2

2

√

√

2S★★

2.5

0.25

1

√

9U

2.5

2

√

√

5CM★★

2.9

0.25

2

√

3U1

3

0.3

1

√

√

√

9C★★

3.8

2

√

12U★★

4

2

√

√

√

备注：工作温度：范围1：-55～+105℃，范围2：-269～+204℃
★是可以测量磁性材料；★★可以测量磁性和非磁性材料。