CMOS工艺加MEMS 技术实现的0 - 1.0 bar压力传感器MLX90210
MLX90210是一款离散的、适用于0-1.0bar压力范围的、用微机械加工实现的压力传感器芯片。压力介质必须是干燥且不具腐蚀性的，比如空气。
电路是通过特殊的微机械加工工艺在硅材料上实现的压阻式电桥。 在引脚Vexc上加一个偏置电压，当在电桥上施加压力时，输出引脚Vout之间的差分电压会发生变化。
MLX90210是一款可以直接与迈来芯的其它接口芯片（例如MLX90308）相连的多功能压力传感器。接口芯片具有放大、信号处理和为传感器提供偏置电流等功能。
特点和优点
Ø 0 – 1.0 Bar 范围
Ø 差分电压传感器
Ø 紧凑型设计
Ø 长时间稳定性
Ø 低成本
应用实例
Ø 医疗诊断
Ø 泵
Ø 工业应用
Ø 机器人
Ø 气压测量
Ø 高度测量应用
Ø 家庭天气钟
Ø 消费与运动类
Ø 先进医疗应用
Ø 液位测量