Colibrys 的 MS7000 加速度传感器是广泛的应用于振动、惯性和倾斜/倾角领域的传感器. 强大而低功耗的设计加上出色的零位稳定性与相对高的带宽的结合保证了M7000 MEMS 加速度传感器很高的稳定性。MS7000 系列是一个电容式 MEMS 加速度计，它是由一个立体微加工工艺制成的硅元件，一个低功耗 ASIC 专用信号处理器和一个存储补偿值的微控制器等元件组成。该产品是一个低功耗的，校准的，功能强大和性能稳定的产品。该产品的零位长期稳定度和比例因子通常都小于全测量范围的0.1％。对于±2g 的 MS7002.3 型, 在宽带>800Hz(at -3dB)时，典型的零位温度系数为 100 µg /ºC,比例因子温度系数为100ppm/ºC。
特征
具有良好的高带宽零位稳定性
± 2g, ±10g 全测量范围
高冲击
低成本高性能
低功率模拟电压输出
TO8包装
应用
振动测量 数据记录器
HUMS
结构监测
惯性测量 钻井（石油和天然气）
民用航空
倾角测量 仪器仪表
交通运输
参数
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Specifications
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所有数值特指在温度20 °C (+86°F)和3伏工作电压条件下，除非另外说明。
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Units
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MS7002.3
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MS7010.3
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全部测量范围
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g
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± 2g
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± 10g
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封装
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TO8, 12 管脚
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TO8, 12 管脚
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零位校准
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mg
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< 10
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< 50
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1年时间的零位稳定性[1]
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mg typ. (max.)
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2 (< 5)
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10 (< 25)
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零位温度系数[3]
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mg/°C typ.
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0.1
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0.5
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mg/°C max.
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± 0.4
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± 2
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比例因子(输出灵敏度) (K1)
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mV/g
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500 ± 4
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100 ± 1
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一年期比例因子稳定性[2]
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ppm typ. (max.)
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500 (< 1000)
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500 (< 1000)
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比例因子温度系数[3]
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ppm / °C typ.
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100
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100
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min. / max.
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-50 / 250
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-50 / 250
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输入轴偏心度(Kp, Ko)
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mrad max.
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< 10
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< 10
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% max
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1
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1
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分辨率/阈值(@ 1Hz)
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mg max.
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< 0.1
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< 0.6
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非线性度
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% of FS max.
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< 0.8
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< 0.9
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g max.
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< 0.02
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< 0.09
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带宽[4]
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Hz
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0 to ≥ 800
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0 to ≥ 600
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噪声谱密度
[0 ; 9kHz)
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mV/Hz typ.
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7
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7
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max.
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< 18
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< 18
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谐振频率
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kHz
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1.4
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3.7
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[1]: 一年期稳定性是按 IEEE 528-2001标准: 打开/打开, 放置在-55°C 和 85°C环境中,在 -40°C 到125°C 之间循环,在-55°C 和 85°C环境中，不带电经受扰动，震动和冲击。
[2]: 温度系数是定义在–40°C到20°C温度范围, 其中温度变化是线性的.
[3]: 带宽的定义是在某一频段其灵敏度降低到 3dB以下.