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高精密气浮系统

分类：过程控制
品牌：AEROTECH
厂商：普兰梅尔（中国站）
型号：ABL2000
相关行业：

发布时间：2013-07-15 09:19
浏览人数：人

产品详情

1:专为晶片成像/缺陷探测/涂覆应用设计
2:运动超平滑,速度稳定性突出
3:直线编码器或激光干涉仪反馈
4:行程达1.2米
5:全预加负载气浮导轨(空气轴承)
6:全部非接触设计
行程 ≤1200mm
精度 ±0.50um
重复定位精度 ±0.20um
直线度±0.25um
平面度±0.25um

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公司名称：普兰梅尔（中国站）
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