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Aerotech精密气浮转台

Aerotech精密气浮转台

分类:伺服系统
品牌:AEROTECH
厂商:北京艾玛特科技有限公司
型号:ABRS,ABRT
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发布时间:2009-12-16 17:31
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产品详情

自1970年Aerotech开始研制最高性能的运动控制产品和精密定位系统,这些产品广泛应用于世界范围内的工业制造、政府及自然科学研究等行业。Aerotech能够为生命科学及医学设备,半导体加工,光子学,数据存储,激光应用,航空和国防,电子产品制造、测试及装配等行业的研究和发展,以及其他需要高精度、高自动化水平的解决方案提供满足市场应用苛刻要求的高性能精密运动控制产品。
Aerotech承诺始终如一的提高我们的产品性能和服务能力的附加价值,我们的座右铭是:Dedicated to the Science of Motion。
ABRT超精密转台
1专为硅片检测,X射线衍射系统,光学检测及制造和纳米技术设备制造应用设计
2无刷无槽伺服电机直接驱动
3突出的速度稳定性,波动率低于万分之一(电机无接头效应)
4卓越的运动性能,误差小,无抖动
5直联高精度旋转编码器
6扁平结构设计
7无机械接触
台面直径100-200mm
分辨率0.027-0.055arcsec
双向重复定位精度<1arcsec
定位精度 <2 arc sec
异步轴跳 <20nm
异步径跳 <20nm
ARMS超精密模拟仿真转台
1. 为超高精度运动而设计。
2. 无刷力矩电机直接驱动,可选更高速度和力矩电机。
3. 突出的速度稳定性。
4. 卓越的运动性能,误差小,无抖动
5. 有效载荷达230 kg
6. 预装有集流环
台面直径:146~260mm
反馈分辨率:0.02~4 arc sec
双向重复定位精度 0.5 arc sec
定位精度         2.5 arc sec
速度波动率       0.0001%
ABRS超精密转台
ABRS气浮轴承精密运动转台拥有一个低矮的外形轮廓,并且能够提供出众的角度定位精度,卓越的速度稳定性以及极小的运动误差。ABRS精密转台的设计应用于硅片检测,高精度测量,激光衍射系统,光学检测和制造以及纳米制造技术。
特点:
1. 无刷无槽力矩电机直接驱动
2. 卓越的速度稳定性(无齿槽效应)
3. 极佳的运动性能,误差小,无抖动
4. 直连式高精度圆光栅反馈
5. 扁平结构设计
6. 气浮轴承,无机械接触
台面直径:128~278mm
反馈分辨率:0.036~0.18 arc sec
双向重复定位精度:<1arc sec
定位精度: 2 arc sec
异步轴跳: 20nm
异步径跳: 20nm
ADR系列精密转台
ADR系列直接驱动转台提供精确的角度定位和速度控制。应用范围包括高速激光加工和硅片精密检测。
特点:
1. 无刷力矩电机直接驱动
2. 无齿槽设计提供卓越的速度稳定性
3. 极佳的运动性能,误差小,无抖动
4. 直连式高精度圆光栅反馈
5. 高精度机械轴承支撑
6. 最大载荷可达150kg
台面直径:57~240mm
反馈分辨率:0.036~13 arc sec
双向重复定位精度: 1arc sec
定位精度: 2 arc sec
轴跳: 0.5um
径跳: 1um
AOM360D光电跟踪转台
AOM360D全方位定位装置能够提供最精确的方位角和仰角值。军工级品质的电机,轴承和传感器组合而成的机架装置保证了整体的最佳性能。AOM360D被应用于使用传感器和光学设备对方位角和仰角值进行自动检测。其他应用包括方位校准,激光束指引,目标捕获及跟踪,照相机和光电望远镜的扫描和定位。
特点:
1. 所有轴均可360度旋转
2. 超精确的定位精度和双向重复定位精度
3. 超低的轴向摆动及正交性
4. 无刷无槽力矩电机直接驱动
5. 高精度圆光栅反馈
6. 无齿槽设计提供卓越的速度稳定性
7. 热稳定性好于0.4 arc sec/摄氏度
8. 负载直径可达500mm,负载质量可达50kg
9. 可以用于真空环境
负载直径193-485mm
负载质量  20~50kg
分辨率0.055arcsec
双向重复定位精度1arcsec
定位精度 2 arc sec
方位角摆动  3 arc sec
仰角摆动    5 arc sec













































































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