中国科学院微电子研究所

公司名片
等 级:注册企业
电 话:010-82995634
邮 箱:rfpower888@163.com
网 址:http://www.rf-power.net
传 真:010-84025539
地 址:北京市朝阳区北土城西路三号
邮 编:
最新产品

公司简介

中国科学院微电子研究所射频电源(RFGenerator)课题组(http://www.rf-power.net)从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz),1985年研制成功,获得“六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。从2010年开始受到极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项(国家02重大专项)资金支持,研发晶体管射频电源,2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源(13.56MHz),获得第七届国际发明展览会银奖与第七届... [详细]