半导体设备大厂阿斯麦在台砸重金投资，并针对2纳米晶圆光学量测设备研发制造，向中国台湾“经济部”申请A+ 企业研发补助案。中国台湾“经济部”表示，将以两面向审查，包括如何协助供应链技术升级以及本地自制率，最快5 月拍板定案。
阿斯麦（ASML）去年宣布在台湾扩大投资，新北市长侯友宜透露，预计落脚林口，第一期投资金额达新台币300亿元，约2,000名员工进驻。
不仅在台湾扩大投资，阿斯麦去年也向经济部递件申请，针对2纳米晶圆光学量测设备提出研发补助计划，经济部已受理审查，依规定一旦审查通过，政府补助比例会低于5成。
“经济部”官员表示，审查重点为如何提升本土技术、本土自制率；目前台厂供应链已具备深紫外光（DUV）设备中的光罩传输模组制造能力，这次阿斯麦计划案包含晶圆传输模组，期盼借此导入本土供应链。
“经济部”官员指出，事实上，先前阿斯麦的光罩传输模组搬来台湾制造，让台湾成为阿斯麦DUV光罩传输模组全球唯一制造基地，带动台厂帆宣、公准和神咏等供应链厂商成长，藉由外商在台扩大投资、研发等，持续提升本土供应链技术升级。
阿斯麦申请案将进入实质审查的第二阶段，“经济部”官员表示，预估5月召开决审会议拍板通过，届时经济部补助额将明朗化。
经济部「A+企业创新研发淬链计划」补助企业投入创新研发和前瞻产业技术开发，每年预算约新台币20亿元，计划吸引国际大厂来台研发生产，同时帮助岛内业者打进前段设备的供应链。
在去年11月，荷兰半导体设备大厂阿斯麦(ASML)将启动史上最大在台投资。不过，ASML声明指出，对于相关议题「ASML持续在全球和台湾投资，为公司持续的成长做准备，以支援全球客户及半导体产业的发展。目前无法透漏新北投资案的相关细节。」
新北市长侯友宜在2022年11月16日晚间在网络节目证实，ASML将在林口工一工业区，第一期将投资300亿元，约2000个员工进驻。
对此，韩媒BusinessKorea报导，ASML执行长温彼得(Peter Wennink)在去年11月视察ASML在京畿道华城的韩国业务，宣布将在2025年之前，在韩国东滩投资2400亿韩元。当地政府表示，这是ASML对海外分公司有史以来规模最大的投资案。
不过，台湾方面领导人在接见ASML执行副总裁兼首席营运长施耐德等人时表示，ASML将启动史上最大在台投资，随后侯友宜证实投资金额为300亿元，相当于1.2兆韩元。韩媒指出，ASML在台湾投资额是南韩5倍。
施奈德表示，阿斯麦在台湾有5个厂址，员工超过4500人，将持续扩展团队，包括物流及供应链等方面。阿斯麦会持续加码投资台湾，并支持台湾的客户群及全球半导体产业。
从2003年，ASML在新竹成立子公司以来，跟台积电等台湾厂商，一起成长茁壮，而台湾更成为了全球唯一，DUV光罩传输模组的制造基地。
阿斯麦明年即将动土的投资案，将是公司有史以来在台湾最大的投资金额。
为了因应台积电先进制程的需求，ASML也在南科，设置EUV全球技术培训中心，未来也会把EUV专用的2纳米晶圆光学量测设备，落脚台湾，在台湾进行研发及制造。
其实，ASML深耕台湾，一直都有征才计划，根据《经济日报》去年3月报导，ASML在去年的征才目标1000人，台湾暨东南亚区人资协理刘伯玲指出，自2021年7月以来，ASML实质已调薪15%至19%，个别员工依据工作性质、年资和绩效而定，基层员工受惠较多，至于新进硕士毕业新鲜人年薪加上加给待遇就有160万至170万元。预计到2022年底，ASML在台湾的员工人数可达4500人。