社会的发展,人类的进步,各种家用电器、电子产品在人类的生活中占据了越来越重要的地位,衣食住行各个地方到处可见。而这些电子产品的组成器件也在不断改进,不断更新,以适应发展的需求,晶体管就是组成器件中不可或缺的一部分。
膜晶体管是一类重要的半导体器件,在平板显示、
传感器等领域具有广泛的应用价值。最近几年,宽带隙氧化物半导体由于其具有低温成膜、高电子迁移率、可见光透明等优点,在薄膜晶体管领域引起了人们广泛的研究兴趣。由于常规SiO2栅介质电容耦合较弱,当前薄膜晶体管的典型工作电压一般大于10V,大大限制了其在便携式领域的应用。研究表明,离子液、离子凝胶(IonGels)具有高达10μF/cm2的低频双电层电容。研究人员采用该类双电层栅介质制作了工作电压仅为1.0V-2.0V有机薄膜晶体管。但到目前为止,该类栅介质很少用于无机氧化物半导体晶体管器件研制。
最近,行业研究人员又开发出一种自组装工艺,仅仅采用一个掩膜版,一次磁控溅射就在双电层栅介质上沉积了ITO沟道、ITO源/漏电极,完成了晶体管制作。深圳市鸿宇电子有限公司是一家主营IC、三极管(晶体管)的公司,经营ON、NEC、VISHAY等各类品牌的产品。另外,课题组该还用单根SnO2纳米线作为晶体管沟道,成功研制了超低压、全透明纳米线双电层晶体管。