国内首台最高配置分子束外延装置落户苏州
发布时间:2010-06-30
来源:中国自动化网
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自动化要闻
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中国科学院苏州纳米所与索尼公司半导体材料与器件合作项目举行了签约仪式,根据协议,双方将共同在半导体材料与器件方面进行合作研发,同时索尼公司将向中科院苏州纳米所提供分子束外延(MBE)装置的免费使用权,而这也是目前国内唯一一台最高配置的MBE装置,全球也仅有7台。
据介绍,分子束外延(MBE)技术以其精确的外延层控制以及所生长的优越的外延材料,在材料科学研究以及光电子器件制作等方面都得到了十分重要的应用。而分子束外延装置是半导体材料超导真空精确控制原子外延生长的设备,是国内纳米技术界常用的一种设备。区别于国内常见的MBE设备,此次索尼公司提供的装置具备全自动操控、双生长室等优点,可以将半导体材料中的分子、原子等按照需要任意组合在一起,对于研发出新型的纳米材料具有特殊的意义。
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