美国维易科开发出对材料机械特性进行nm级别分析的技术
发布时间：2008-06-28
来源：中国自动化网
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美国维易科精密仪器（Veeco Instruments）发布了对材料的机械特性进行nm级别分析的技术“HarmoniX”。该技术对原子力显微镜（atomic force microscope:AFM）所用探针的支撑悬臂梁受到的力，通过独创的算法进行分析，可同时实时地分析材料的弹性率、附着性、剥离性等物性。
当专用探针（见照片）与材料接触时，可测定支撑该探针的MEMS悬臂梁的扭曲及挠曲量。根据测定值，实时计算出各种机械特性，并绘制出相应的数据图。与以往的测定等相比，可快速显示分析结果
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