近年来,汽车行业的发展迅猛增长,随之而来的汽车电子产品的需求量也在不断攀升,特别是传感器市场的发展尤其引人关注。随着半导体行业的发展,MEMS技术成为微型化、集成化的基础,采用MEMS技术的传感器不仅变得微型化,还具有信息检测与控制等诸多功能,可以实现智能化。因此,以MEMS技术为基础的微型化、多功能化、集成化和智能化的传感器将逐步取代传统的传感器,成为汽车传感器的主流。目前MEMS汽车传感器主要应用于汽车的发动机控制系统、车身控制系统和底盘控制系统,典型产品有压力传感器、惯性传感器及倾角传感器等。
什么是MEMS
MEMS(Micro Electromechanical System,即微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。概括起来,MEMS具有微型化、智能化、多功能、高集成度和适于大批量生产等特点。