近日,由中国科大教授黄文浩课题组承担的“基于飞秒激光的双光子微细光成型基础技术与装置的研究”项目研究成果,通过了安徽省科技厅组织的专家鉴定。
该项目成功研制了国内首台具有自主知识产权的基于飞秒激光的双光子微细光成型加工、测量和三维信息存储的多功能装置,其特点主要有利用X型谐振腔研制了稳定输出功率大于400mw、激光脉冲重复频率为80MHz脉宽为80fs,中心波长800nm的Ti宝石飞秒激光光源,扫描分辨率为1nm的三维成型微加工系统,实时监测及信息读取系统,已获得计算机软件著作权的界面友好的成型系统软件。
据悉,该项目在基础工艺研究中,实现了亚微米量级的加工分辨率,并试制出了8层log-pile结构的三维光子晶体,其光子带隙位于红外波段的3.40μm处。同时,还实现了10层信息的三维存储和读出,并设计并加工出光学驱动的直径为5μm的微型转子,其转速达到200rpm。