超声
传感器、电容传感器、磁传感器一般统称为UCM传感器，该类传感器目前已经非常普及，在水处理、石油、化工、化学、
汽车等领域已具有了成熟的市场。但据有关市场研究表明， UCM传感器在半导体生产设备（SEM）方面目前尚处于早期发展阶段。 SEM主要用于半导体产品生产、装配和性能测试，是一个资本密集的全球性行业。随着半导体技术的迅速发展，对SEM提出了更高的要求，促使其加快技术的进步与更新以适应时代的需求，所以该行业有望成为UCM传感器的主要市场。目前，UCM传感器在半导体行业的应用还是比较有限的，但其销售额却持续增长。2000年UCM传感器在SEM领域的总销售额为1.249亿美元，年增长率为6.9%，2001年达到了1.443亿美元，年增长速度达到了7.1%。预计到2007年7.1%的年增长率将会保持，且随着UCM传感器价格的下降，其需求量还会增加。 UCM传感器主要包括基于超声原理的流量传感器、物位传感器和位置传感器，电容式的接近传感器、位置传感器和压力传感器，基于磁学原理的位置和流量传感器。由于价格昂贵，尤其是超声流量计和电磁流量计，使UCM在SEM领域的应用受到了限制。然而，随着半导体生产商不断引进新的技术，这些传感器将会有更广泛的应用。有关专家也分析了几种不利于市场发展的因素。首先，半导体企业已经开始自己生产传感装置，并趋向于向数字化技术和电子技术方向发展。其次，传感器市场的国际化也使传感器生产向国际化发展，最后，传感器技术还无法满足半导体行业严格的生产标准。技术的革新对UCM传感器的销量增长起着巨大的作用。例如目前最新型的MEMS传感器-超声MEMS传感器已研制成功，它采用硅基超声传感技术，既经济又实用，代表了超声传感器技术的发展前沿。与原有的超声传感器相比，MEMS超声传感器在性能方面有了质的提高，而在价格方面却有了一定量的下降，很好地满足了高性能、低价格的大量应用的需求。半导体生产商越来越需要高精度、高静压与高智能的测试设备，传感器生产商也正在努力满足这方面的需要，当前有向数字输出与界面化发展的趋势。如在磁性传感器领域较为重要的进展就是其智能化单片集成系统。在主板上设置内存最主要的优点是可以使霍尔位置传感器生产商制作出更多更好的智能传感器。SMART技术在超声与电容传感器方面也同样越来越重要。 2000年超声传感器在SEM领域的年销售额达到了2860万美元。流量测量方面，多普勒超声流量计更多地应用于较脏的环境中，半导体生产的超净环境倾向于选用传统的计时流量计。超声物位传感器是一种利用声波的非接触式测量系统，而超声接近传感器则是通过激发压电信号产生声波，检测目标物是否存在或测量到目标物的距离。超声传感器随着精度的不断提高，销售量也在提升，但是巨额开发成本也在一定程度上阻碍了市场的扩张。 2000年电容式传感器在SEM市场的销售额达到了3200万美元，这其中主要包括电容式位置传感器、接近传感器和压力传感器。非接触式位置传感器具有较高的分辨率且比较牢固耐用。接近传感器在探测非金属目标的场合是理想的选择。压力传感器价格昂贵，市场进展小，对SME作用不大，但随着智能技术的介入，对其需求也将越来越大。驱动电容传感器销售的主要因素是其生产成本低、体积小和技术新，但其昂贵的价格限制了销售量，而且技术竞争也削减了利润率。 2000年磁传感器在SME领域的销售额达6290万美元。电磁传感器市场千变万化，与SME有关的传感器有霍尔元件、磁阻和电磁流量计，这些都是低价的传感器，有逐渐取代传统产品的趋势。高精度 Smart传感器也推动了它们在非接触传感器方面的应用，但其对传导率的较高要求则阻碍了其发展。总之，在SME领域，电容传感器已处于相对成熟阶段，而其它传感器由于宣传少，用户对其优点知之甚少，目前还处于发展阶段。