近日，美国热电集团最新推出了一款专用于半导体晶片分析的傅立叶变换红外光谱系统——Nicolet ECO/RS，该系统采用了热电集团最新的傅立叶变换红外光谱平台——Nicolet 6700。
众所周知，傅立叶变换红外光谱技术对于半导体加工而言，是一种理想的检测手段。而半导体加工无论是对于原材料还是工艺过程都有着严格的控制要求，需要能够对于纯度超过99.999%的材料进行检测，并且检测尺度主要是在纳米级。而作为一种快速、无损的检测技术，傅立叶变换红外光谱仪既可用于相关企业的质检实验室，也可用于现场以监控生产过程中搀杂剂在硅片中的均一性。由于硅有非常好的红外透过性，因此傅立叶变换红外技术在此方面的应用包括：针对外延生长的晶体薄膜、微机电系统（MEMS）设备和绝缘硅（SOI）材料的厚度测量，硅晶体中间隙氧和取代碳含量的测定以及介电薄膜表征等。
此外，该型产品采用了热电集团新一代 ETC EverGlo 红外源，在提供稳定信号的同时，极大延长了红外源的使用寿命。为了应付以前难以处理的红外样品，还新增加了一个 Turbo Mode 功能。敷金的光学器件和全新设计的光路系统则极大增强了光信号通量。