国际真空技术统计工作组(ISVT)日前发布的报告显示，其真空元件和设备子系统在2003年的全球销售总额达到了26亿美元。
该工作组由来自国际真空设备制造商协会(AVEN)、欧洲真空技术协会(EVTA)和日本真空行业协会(JVIA)的成员代表与国际半导体设备与材料协会(SEMI)联手组成。
真空元件的最大细分市场为半导体处理真空，占总市场的38%，然后依次为工业用真空，占12%，处理真空，占12%，仪表制造，占11%，以及薄膜沉积(非半导体)真空，占10%。
真空元件市场由泵及泵组、仪表、带阀和耦合的硬件设备等细分市场组成，此外还包括备件及售后服务的提供。