麻省理工推出高精纳米尺
发布时间:2004-05-09
来源:中国自动化网
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美国麻省理工学院空间纳米技术研究所以马克.席尔腾博格为领导的一个研究小组于2004年2月中旬设计出了世界上最精确的尺――“纳米尺”,它的刻度只有0.4×10-3mm。如此精微的纳米尺在计算机芯片制造和空间物理等方面可派上大用场。 在设计计算机芯片和高清晰度太空望远镜时,需要在具有较大表面积的物体的表面精确构造和测量由平行线组成的光栅。用这种纳米尺在直径大于30mm的物体表面构造和测量光栅,比用其他测量方法要快10到1000倍,而且要精确得多。用它可以在直径300mm的范围内构造相距只有数百纳米的光栅平行线,误差不到1nm。这个精度相当于从旧金山射击命中一个安放在曼哈顿的5分钱硬币大小的目标。席尔腾博格研制这种纳米尺的初衷是为了满足计算机芯片制造业的需求,现在的计算机芯片越做越小,要在最大也只有一块指甲大小的物体上面布满上百万的晶体管,这已成为一个越来越大的难题。 研究者所设想的就是通过光学技术制造出刻度以纳米计而大小又足以和最大的硅晶片相当的尺子。运用这种纳米尺,再结合机械刻蚀办法,芯片制造商们就能既快又准地把几百万个晶体管有序的安放到面积有限的芯片基底表面上。
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