国内首创基于微棱镜阵列的哈特曼波前传感器，2004年4月中旬由中科院光电所研制成功。该项技术以二元光学制作的锯齿形相位光栅阵列(微棱镜阵列)代替以往的微透镜阵列，建立了一种新型哈特曼波前传感器。该项技术已申请在光学检测、人眼像差测量和脉冲光光束质量诊断等应用场合的国家发明专利，是我国在光束诊断和光学检验技术领域的又一项创新突破。
该项研究为中科院光电所领域前沿部署课题项目，目标在于开展波前探测技术领域的创新研究，与原有微透镜哈特曼传感器技术比较，本技术创新性地采用锯齿形相位光栅阵列，建立了基于该微棱镜阵列的新型哈特曼波前传感器，完全实现了波前测量功能，从而使光电所在哈特曼波前传感器创新研制领域拥有了自己的技术专利，将有助于打破国外专利限制，推动产业化发展。
目前该技术已开始向产品化试制阶段过渡，近期目标为研制适用于车间环境下的光学镜面检测仪器，相对于对环境敏感的干涉仪和要求经验、无法定量的样板法检验，将为工厂光学检测提供一种对环境要求低、使用方便、性价比更为合理的测量产品。