NEC开发出在LSI实际工作的状态下,实现流经芯片内部布线的高频电流分布可视化的技术。通过以非接触方式测量布线产生的高频磁场从而实现了可视化。
此次开发的测量技术有以下四个特点。(1)开发出将磁场转换为电流的方法以降低对LSI的影响,同时可以在实际工作状态下利用非接触方式测量电流。(2)开发出用薄膜工艺制造的多层结构微小磁场探测器,空间分解能增加到以往的6倍。(3)采用了微小磁场探测器倒装芯片技术等从而绝对值测量频率达到5GHz。以往的产品的最高频率为3GHz。(4)开发出可控制micron order的扫描设备以及具有可视化功能的测量软件。
NEC此前开发出可在印刷电路板上以非接触方式测量电流的小型磁场探测器和测量软件,并通过NEC工程公司销售。另外还开发利用该磁场探测器测量封装电源端子高频电流的技术,该技术被IEC以“磁场探测法”的名称吸收为标准。此次开发的测量法在LSI芯片内部应用了“磁场探测法”。可制作高精度LSI电源系模型并且在设计电路时可照顾EMI,从而提高LSI电路设计效率。
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