日本财团法人激光技术综合研究所激光环境应用测量研究小组正在进行多项基于飞秒(千万亿分之一秒,10-15秒)激光的加工工艺基础研究,并充分利用研究成果、探讨具有纳米周期结构的挖槽切削加工技术的实用化事宜。目前已着手与多家制造商共同制定实用化相关计划。
飞秒激光是指能够以千万亿分之一秒为单位控制激光脉冲并照射的激光。向金属照射飞秒激光后,将会出现金属电子温度高于晶格离子(Lattice Ion)温度的状态,因此晶格离子就开始加热。尽管目前飞秒激光的切削原理尚不清楚,但已知其具有如下特性:(1)能够以小于激光照射点的尺寸进行切削;(2)切削加工痕迹附近能够产生具有纳米周期的结构体。
藤田等人利用飞秒激光反复地进行金属切削的基础实验,发现在激光强度的阀值方面,不仅存在早已知道的一次照射切削出平均约数nm沟槽的阀值F1,还有平均约100pm沟槽的阀值F2和约数pm沟槽的阀值F3。而且已经证实在利用F2和F3的阀值切削时,也能够在切削加工痕迹附近产生纳米周期的结构体。
藤田等人准备根据上述实验得到的数据,利用飞秒激光使纳米周期的挖槽切削加工技术达到实用水平。藤田表示:“具体计划到2003年下半年前还不能公布”,但同时又表示,“正在制定多个领域的实用计划,采用飞秒激光加工元件的设备将具有节能效果”。