据海外媒体报道,台湾SKF(斯凯孚)公司最新推出磁浮轴承。
该公司工业技术部经理张伟钦介绍,半导体工业需要极纯净的环境来制造日益复杂的电路晶片,其中,TMP(Turbo Molecular Pumps)涡轮子真空泵主要是利用高速旋转的涡轮叶片转子,撞击气体分子后,把气体分子带出制程腔体。由于需要高速旋转,传统陶珠轴承系统存在油气污染问题,目前业界已大量使用无接触的磁浮轴承。
SKF磁浮轴承还可应用于三轴加工中心
机床,主轴转速10万转/分钟。
此主轴目前是展示阶段的原型,唯有依赖磁浮轴承才能达到如此高的转速,而如此高的表面加工精度及轴承寿命,是传统滚动轴承所无法达到的。
SKF磁浮轴承也可应用于高速离心式压缩机、机床高速主轴、超低温设 备、食品与制药设备、真空环境与仪器分析设备、高频马达、储能飞轮、离心干燥机、汽轮发电机等大型设备。