质谱计与真空计复合电源
发布时间：2003-06-11
来源：中国自动化网
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自动化要闻
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本发明属于一种可进行真空度测量的小型质谱计。 质谱计和真空计通常是配备在一起工作的，若质谱计本身能测量真空度，就能省去一台真空计，这对大量应用的小型质谱计来说，有很大经济价值。目前研究的主要是四极质谱计，其研究结果可归纳成两类：一是用其积分谱进行真空度测量[西德AMP－3型，中国北京分析仪器厂小型四极质谱计]；另一种方法是在离子源中再设置一个独立的作真空度测量的离子收集极[日本ANELVA公司产，四极质谱计]。上述两种方法的共同缺点是离子源的污染，质谱计参数的调整都会影响压强的刻度值，更重要的是共同一根质谱管灯丝，进行真空度测量时会污染离子源和质量分析器，并有可能烧毁灯丝，以致损坏价贵的质谱管。 本发明的目的在于研制一种具有常规热阴极电离真空计电源功能的质谱计电源。
东南大学科技处
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