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气体质量与体积流量控制器适用于洁净气体FMA-2600A 系列
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1.
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20多种气体校准，包括氦气、氧气、氖气、一氧化二氮、氮气、大气、氩气、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、乙烷、氢气、丙烷、丁烷、异丁烷、乙烯、乙炔、氪气、氙气、六氟化硫
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2.
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同时显示压力、温度、体积以及质量流量
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3.
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简单易用的按钮界面
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4.
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NIST 可溯源性标准
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5.
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满量程范围：0.5 SCCM ~ 1500 SLM
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常规响应时间：50 ~ 100 毫秒
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常规量程比：100:1
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8.
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位置不敏感
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9.
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±0.8%读数精度
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10.
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标配RS232
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FMA-2600A系列质量与体积流量控制器在层流场中使用差压原则来确定和控制质量流速。流量计中的层流元件(LFE)迫使气体进入层流。泊肃叶方程规定， 在这一区域体积流速与压力下降呈线性关系。使用压差传感器衡量LFE固定距离中的压力下降情况。同时结合气体的粘度准确判定体积流速。引入单独的绝对温度和压力传感器，并根据一系列标准条件纠正气体流速。这种标准流速俗称质量流速，并使用每分钟标准立方英尺(SCFM)或每分钟标准升(SLM)等单位表示。
该控制器采用连接到流体的真正比例阀，通过一体化PID回路控制器控制流体。标准设备包括0 ~ 5 V输出（可选4 ~ 20 mA）和RS232通讯。可通过前面板键盘或RS232通讯调整气体选择功能和设定值。体积 流量、质量流量、绝对压力以及温度均可以通过RS232连接查看或记录。同时，在距离为46 m (150')的同一串口连接上，最多可与26台设备进行多点通讯。
规格:
精度: ±（读数的0.8% + 满量程的0.2%）
重复性: 满量程的±0.2%
量程比： 100:1
控制响应时间: 100 ms
输入控制信号: 0 ~ 5 Vdc, RS232
输出信号: 0 ~ 5 Vdc, RS232
可选输入/输出: 4 ~ 20 mA, 0 ~ 10 Vdc
工作温度: 10 ~ 50°C (14 ~ 50.00°C)
零点偏移: 满量程的0.02%/°C
量程偏移: 满量程的0.02%/°C
湿度量程: 0 ~ 100% RH，无冷凝
附加流速: 满量程的2.4%
接液材质：303和302不锈钢、氟橡胶、硅酮RTV（橡胶）、玻璃强化型尼龙、铝、铜、410不锈钢、硅酮、玻璃；>250 SLM：416不锈钢和镍替换铜
最大压力
质量流量控制器: 145 psig
使用体积模式: 使用体积模式：近大气，建议最大15 psig。
体积流量计和控制器不保证超出流量计额定流量范围的质量流速的准确性。这些值仅适用于近大气压力条件。建议最大工作压力为15 psig
额定最小压差: 5 SLM 及以下: 5 psid; 10 ~ 250 SLM: 15 psid; 500 SLM: 5 psid; 1500 SLM: 10 psid
电源电流: 20 SLM及以下0.250 A；50 SLM及以上0.75 A（常规）
电源电压: 20 SLM及更小的设备12 ~ 30 Vdc；50 SLM及更大的设备24 ~ 30 Vdc
电气连接: 8针圆形迷你DIN
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