企业类型：
研究院所
所在地：北京市-朝阳区
相关产品分类：IGCT,GTR,IGBT,二极管,GTO,可控硅,双向可控硅,功率模块,晶体管,电容,电阻,IC器件,磁性器件,PCB,其它,三极管
中国科学院微电子研究所射频电源(RFGenerator)课题组(http://www.rf-power.net)从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz)，1985年研制成功，获得“六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。从2010年开始受到极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项（国家02重大专项）资金支持，研发晶体管射频电源，2011年...