1. 特点及主要应用领域
气体质量流量控制器(流量计)Mass gas flow controller(meter)缩写为MFC(MFM))是对气体的质量流量进行精密测量和控制的设备。
S49 32/MT 质量流量控制器(流量计)特点:
☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽,气体流量不因温度、压力的变化而变化。
☆主体采用不锈钢(316L)结构,气密材料采用VITON?、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。
☆具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。
☆可任意位置安装。电气操作控制显示,使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。
☆配合MT-60 系列流量积算仪,可对气体的瞬时流量和累积流量进行精确计量。
S49 32/MT 质量流量控制器(流量计)主要应用领域:
半导体制造行业的气体流量控制;
分析仪器设备的气体计量与控制;
各种形式的真空镀膜设备;
环境检测与分析设备;
化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检测和控制;
特种材料表面处理装置与燃烧控制;
混气配气系统和泄露探测系统等。
2. S49系列质量流量控制器(流量计)型号
S49 32/MT 系列质量流量控制器(流量计),S49为质量流量控制器(流量计)产品,32/MT为本公司此产品设计序列号。
质量流量计用于对气体的质量流量精确测量计量;
质量流量控制器(流量计)不但具有质量流量计的测量计量功能,还具有自动控制气体的质量流量功能。
型式批准证书:2011F215-11
执行Q/CYHMT001-2011企业标准
许可证编号:京制01050063号
3.主要技术指标
质量流量控制器(流量计)流量出厂通常用氮气(N2)标定。
质量流量单位为:mL/min(毫升/分钟);(SCCM行业标准)
L/min (升/分钟)。 (SLM行业标准)
标准状态为:温度----273.15K(0℃);
气压----101325Pa(760mmHg)
F.S(Full Scale):表示满量程值
表1 S49 32/MT质量流量控制器(流量计)技术指标
编号
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项目
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S49 32/MT
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1
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流量规格
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(5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min
(1,2,3,5,10)L/min
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2
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调节阀类型
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电磁调节阀
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3
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调节阀静止状态
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常闭
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4
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准确度
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±1.5%F.S
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5
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线性
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±1.5%F.S
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6
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重复精度
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±0.2%F.S
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7
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响应时间
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≤8秒(T95)
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8
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工作压差范围
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(50~300)kPa; (100~300)kPa(10L/min)
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9
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耐压
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3MPa; 10MPa
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10
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工作环境温度
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(5~45)℃
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11
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材料
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不锈钢316L
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12
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标准密封材料
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Viton?, EPDM, 或其他由用户指定
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13
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漏率
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1×10-8Pa.m3/s
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14
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接头
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Φ6mm~Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用户指定
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15
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输入输出信号
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(0~+5.00)V (输入阻抗≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA)
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16
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供电电源
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±15V(±5%)(+15V 50mA, -15V 200mA)
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17
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外形尺寸mm
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130(宽)×102(高)×28(厚)
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18
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重量kg
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0.8
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