本产品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。不同于容积式流量计，其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量，所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。
1.1 使用范围
质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制。
1.2 质量流量控制器和质量流量计
质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC)，具备流量测量和流量控制两种功能。
质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM)，只有流量测量功能，不具备气流控制功能。
1.3 S48 300/HMT质量流量控制器的特点
☆ S48 300/HMT型质量流量控制器是在引进HORIBA STEC技术基础上，结合国内需要而研制的一种数字式质量流量控制器产品，采用当今先进的32位ARM系列处理器做数字控制。具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。
S48 300/HMT数字流量控制器技术指标
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编号
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项目
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S48 300/HMT
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1
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流量规格
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(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
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2
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调节阀类型
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电磁调节阀
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3
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调节阀静止状态
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常闭
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4
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安装角度
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任意
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5
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流量控制范围
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2%-100%F.S.
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6
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流量测量范围
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0-100%F.S.
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7
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响应时间
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≤ 1 sec
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8
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工作环境温度
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5-50℃
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9
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精度保证温度
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15-35℃
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10
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精度
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±1.0% S.P.(≥30% F.S.）；±0.30% F.S.（＜30% F.S.)
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线性精度
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±0.5%F.S.
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重复性
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±0.2%F.S.
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13
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工作压差
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-5L/min (50-300)kPa(D) 10L/min-30L/min (100-300)kPa(D) 50L/min (150-300)kPa(D)
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14
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耐压
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3MPa(G)
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15
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泄漏率
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＜1×10-8Pa·m3/s(He)
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接触气体材料
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316L，Viton? 氟橡胶，PTFE
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管路接头
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Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″
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供电电源
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±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA
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设定信号
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数字：RS485/RS232
模拟：0 - +5V，输入阻抗＞10kΩ
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流量输出信号
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数字：RS485/RS232
模拟：0 - +5V，负载能力≤3mA
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通讯接口
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数字RS232/RS485，波特率4800/9600/19200bps，
Modbus RTU 协议从机，设备号可选范围0-15
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重量(kg)
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0.9
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