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迈可诺技术有限公司
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021-51078515
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sales@mycro.com.cn
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021-51078515
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上海徐汇区老沪闵路728弄14号0502室
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显影机 EDC-650-23N
显影机 EDC-650-23N
所属品牌：MYCRO
产品系列：暂无
联系人：刘为国
联系电话：021-51078515
电子邮箱：
审核时间：2013-07-01
有效期：365天
点击次数：
商机详情
显影机
(
英文名：
Developing)
型号：
EDC-650-23N
产地：美国
一、产品概述：
650
型显影机适应于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺，制版的表面显影。一般显影机由动力系统、显影液槽及喷液管、水洗槽、挤压
(
水
)
辊、涂胶槽等部分组成。
二、显影机工作原理：
显影系统具有可编程阀，它可以使单注射器试剂滴胶按照蚀刻、显影和清洗应用的要求重复进行，如冲洗（通常是去离子水或溶剂），然后干燥（通常是氮气）等最后的处理步骤。采用此序贯阀门技术的晶圆片和管道在完全干燥的环境中开通和关闭处理过程。隔离和独立的给水器可处在静态的位置还可以盖内调节。蚀刻
/
显影
/
清洗全套系统还有可选择的动态线性或径向滴胶的特性。
三、匀胶机主要性能指标：
1
、腔体尺寸：
9.5
英寸
(241
毫米
)
；
2
、
Wafer&
芯片：直径
6
英寸（
150
毫米）的晶圆片或者
5x5
英寸（
125
毫米）的方片；
3
、非真空托盘：聚丙烯材质非真空托盘，可承载
2
、
3
英寸及
150
毫米的晶圆片
-
并带有背面清洗功能；
3
、转动速度：
0-12,000rpm
，
4
、旋涂加速度：
0-30000rpm/sec
（空载）；
5
、马达旋涂转速：稳定性能误差
< ±1%
；
6
、工艺时间设定：
1-5999.9 sec/step 0.1
精度；
7
、高精度数码控制器：
PLC
控制，设置点精度小于
0.006%
；
8
、程序控制：可存储
20
个程序段，每个程序段可以设置
51
步不同的速度状态；
9
、分辨率：分辨率小于
0.5
转
/
分，可重复性小于
±0.5
转
/
分，美国国家标准技术研究院（
NIST
）认证过的，并且无需再校准！
]
10
、腔体开关盖板：透明
ECTFE
材质圆顶盖板，便于实时进行可视化操作；
11
、腔体材质说明：用聚丙烯材质制成的带有联动传感触点的合瓣式舱体；
12
、配套分析软件：
SPIN3000
操作分析软件；
13
、配套真空泵系统：无油型
220~240
伏交流，
50/60
赫兹；
请与迈可诺技术有限公司中国营销服务中心区域办公室联系
!
010-52914751 / 400-6800-397
转
813
（北京）
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