JMT系列 一维产品型号：JMT1n10/25/50/100/150/200/X/X
产品特性
高速响应;
压电陶瓷驱动;
较高的重复定位精度;
纳米级位移分辨率;
机体材料分铝合金和钛合金;
具有开环和闭环两种;
采用数控、线切割等加工工艺，严格保证构结精度;
采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构；
采用先进的表面处理工艺，提高了适应不同工作环境的能力
JMT系列一维纳米级精密定位工作台选型说明
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型号结构
解释
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JMT1n10/25/50/100/150/200/X/X
开环例子：JMT1n10/L 闭环例子：JMT1n10/S/L
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JMT
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JMT系列一维纳米级精密定位工作台
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1
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运动维数
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n
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维数单位
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10/25/50/100/150/200
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行程距离,可选（单位：μm）
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X
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开/闭环选择位，空位为开环，此位可选S或L（s-应变片传感器/L-电感传感器））
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X
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材料选择位此位可选L或I（L-铝合金/I-INVAR合金）
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JMT系列一维纳米级精密定位工作台技术参数
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技术参数
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型号
指标
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jmtln10/x/x
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jmtln25/x/x
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jmtln50/x/x
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jmtln100/x/x
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jmtln150/x/x
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jmtln200/x/x
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单位
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维数
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X
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轴
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行程
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10
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25
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50
|
100
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150
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200
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μm±10%
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传感器类型
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s-应变片传感器/L-电感传感器
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传感器信号
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0～5
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V
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开环位移分辨率
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0.25
|
0.625
|
1.25
|
2.5
|
3.75
|
5
|
nm
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闭环位移分辨率
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0.25
|
0.625
|
1.25
|
2.5
|
3.75
|
5
|
nm
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开环重复定位精度
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0.08
|
10% nm
|
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闭环重复定位精度
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0.02
|
nm
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最大推力
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1000
|
N
|
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最大拉力
|
50
|
N
|
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最大负载
|
4
|
Kg
|
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固有频率
|
800～700
|
700～600
|
600～500
|
500～400
|
400～300
|
300～200
|
Hz
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重量
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0.15
|
0.30
|
0.5
|
0.7
|
1
|
1.2
|
Kg
|
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控制电压
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0～200
|
V
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工作温度
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-20～80
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JMT系列一维纳米级精密定位工作台外形尺寸参数
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尺寸参数
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型号
序号
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jmtln10/ x/x
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jmtln25/ x/x
|
jmtln50/ x/x
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jmtln100/ x/x
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jmtln150/ x/x
|
jmtln200/ x/x
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单位
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Ⅰ
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62x62
|
100x100
|
130x130
|
mm
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|
Ⅱ
|
52x52
|
88x52
|
114x114
|
mm
|
|
Ⅲ
|
40x40
|
55x55
|
65x65
|
mm
|
|
Ⅳ
|
4-M3深10
|
4-M4深10
|
4-M4深10
|
mm
|
|
Ⅴ
|
32x32
|
45x45
|
40x40
|
mm
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|
Ⅵ
|
22
|
22
|
22
|
mm
|
|
Ⅷ
|
20
|
20
|
20
|
mm
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|
Ⅶ
|
8
|
8
|
10
|
mm
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Ⅹ
|
4-φ8
|
4-φ8
|
4-φ10
|
mm
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Ⅸ
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4-φ4.5
|
φ4.5
|
φ5.5
|
mm
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