TCS208F采用先进的MEMS加工技术生产，利用被测组份和参考气体的热导系数不同而响应的浓度型传感器。产品具有检测范围大、可靠性高、安装方便、维护简单等优点。可广泛应用于天然气，CH4、H2，CO2，CO，SF6，Xe，He，NH3等气体成份检测，也可用于测量非常小的气体容积变化。
测量精度高
灵敏度高
集成温度补偿，漂移小
体积小，响应速度快
可以测量微小的气体容量
高性价比
TO8封装，抗冲击能力强
详细介绍：
1. 最大限值
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最小 |
典型 |
最大 |
单位 |
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热功率P（Rm1+Rm2）： |
— |
— |
30 |
mW |
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测量温度Tm |
— |
— |
180 |
°C |
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环境温度 |
-20 |
— |
+85 |
°C |
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气体压力（1） |
— |
— |
200 |
bar |
注：由于膜的热时间常数短，短时间的加过高的热功率会毁坏传感器。
2. 参数说明：
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最小 |
典型 |
最大 |
单位 |
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电阻，Rm1，Rm2（Tm=25°C） |
92 |
100 |
115 |
Ω |
|
电阻，Rt1，Rt2 |
220 |
240 |
275 |
Ω |
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商，Rtx / ( Rm1+Rm2 )，x∈{1,2} |
1.13 |
1.2 |
1.27 |
1 |
|
阻抗差，Rm1 - Rm2 |
-2.0 |
— |
+2.0 |
Ω |
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α=温度系数，( Rm, Rt ) | 20 - 100°C |
4.8（2） |
5.5 |
5.9 |
10-3·K-1 |
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G =几何系数（3） |
— |
3.6 |
— |
mm |
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τm =膜的热时间常数 |
— |
<5 |
— |
ms |
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τdiffusion =气体交换的时间常数 |
— |
<100 |
— |
ms |
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漂移( Rxy ) | x∈{m,t} ; y∈{1,2} |
— |
0.001 |
0.01 |
%/week |
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散射结构的体积 |
— |
0.2 |
— |
mm3 |
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保持干净的周围环境空间大小 |
— |
100 |
— |
mm3 |
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基础材料 |
硅,采用蚀刻技术获得微观结构 |
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尺寸结构: 包括底座
不包括底座 |
3mm × 3mm × 1mm |
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13mm Ø × 15.4mm |
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暴露在空气中的材料 |
Si, SiOxNy, 金, 环氧材料 |
注释: (1) 根据供应商的说明书对于适当的设备提供的压力参数
(2) α的最小值只适用于与低规格电压辅助源结合的情况. 产品会不断的改良使它更接近于DIN 43760的规格.
(3) 因数G是由内部的传感器的机构决定的.
传感器的机械测试:
振动: 符合IEC 68-2-6 附录B (1982) 10圈,±1.5mm; 20g; 10..2000Hz; 1阶/分钟
冲击: 符合IEC 68-2-27 修正#1 (82年10月),径向和轴向各10次, 100g; 7.5ms / 300g; 2.5ms / 900g; 1.2ms.
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