AWM5101/AWM5104气体质量流量传感器特点：
● 各种流量接口可选
● 文丘里管设计
● 远程安装
●激光校整CO2，N2 氩气的标定。
AWM5101/AWM5104气体质量流量传感器在线测量：
AWM5101/AWM5104气体质量流量传感器为文丘里流量管形外壳，可以测量最高至20 升/ 分钟，最大压降2.25”水的气流。微桥芯片直接与气流接触，大大减少了由于通气孔或旁路堵塞引起的误差。
AWM5101/AWM5104气体质量流量传感器具有坚固，通用的封装形式；
AWM5101/AWM5104气体质量流量传感器具有的坚固，塑料的封装能够承受50psi的共模压力，内部的小型传感芯片能允许100 克的冲击在额定指标下，两个测量孔是单独模件，可在最小的模具花费下根据实际更改，插入式AMP 连接器提供十分可靠的连接。
AWM5101/AWM5104气体质量流量传感器具有内置的信号处理电路；
AWM5101/AWM5104气体质量流量传感器产品包括含放大` 线性修正` 温度补偿和气体标定，气体标定通过激光校整得到。
图1 是AWM5101/AWM5104气体质量流量传感器发热器控制电路：
图2 是AWM5101/AWM5104气体质量流量传感器传感桥电路和放大线性电路：
AWM5101/AWM5104气体质量流量传感器技术规格：
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AWM5101 |
AWM5102 |
AWM5103 |
AWM5104 |
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流量范围 |
0-5 SLPM |
0-10 SLPM |
0- 15 SLPM |
0-20 SLPM |
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后缀-标定气体 |
VA-氩气（Ar）VC-二氧化碳（CO2）VN-氮气（N2） |
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Min Typ Max |
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推荐供电电源VDC |
8.0 10±0.01 15 |
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功耗（mW） |
100 |
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反应时间（mA） |
60 |
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零点输出VDC |
0.95 1.00 1.05 |
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零点漂移，VDC -20~70˚C |
±0.050 ±0.200 |
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最大共模压力psi |
50 |
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温度范围 |
-20~+70˚C |
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冲击指标 |
100g 峰值，6ms 半正弦(3drops,3 的每一方向） |
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输出@ 较整点 |
5VDC@ 满量程流量 |
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压差@ 满量程 |
参照压力& 气流表 |
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满量程输出漂移+20˚~-25˚C +20˚~70˚C |
后缀VA 或VN ±7.0% 读数，VC ±10.0% 读数 |
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线性误差 |
±3.0% 读数 |
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迟滞& 重复性 |
±0.5% 读数 |
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连接器（4pin receptacle) |
AMP（103956-3）或MICROSWITCH（SS12143） |
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泄漏 max |
0.1psi/min,在静态中 |
注：1、AWM5101/AWM5104气体质量流量传感器供电电压除10.00±0.01VDC 外，不保证标定值。
2、AWM5101/AWM5104气体质量流量传感器线性误差适用于2-100% 满量程，但不适用0 LPM 时零输出
3、在50psi 内压下，AWM5101/AWM5104气体质量流量传感器每分钟泄漏小于0.1psi，如果安装时，相对于流量管的连接器被扭转，将会破坏O 形圈和流量管之间的密封，引起暂时汇漏，可高达1psi，也可能在指标内，换上新O 形圈后，密封恢复，大约85% 的泄漏在24 小时内消除，48 小时内，可完全恢复。
AWM5101/AWM5104气体质量流量传感器安装尺寸：