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纳米级差动电涡流位移传感器

纳米级差动电涡流位移传感器

所属品牌:暂无
产品系列:暂无
联系人:江山
联系电话:0755-26381706
电子邮箱:info@51sensors.com

审核时间:2008-11-27
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商机详情

KD5100纳米级差动电涡流位移传感器
特性
• 每通道两个精确匹配的传感器使分辨率达到1纳米
• 超耐热,长时间稳定:5x10E-6 英寸/月或更好
• 有耐低温传感器
• 非常高的灵敏度,最高到394 mV/µm
低功耗:小于2W ( ±15 Vdc典型情况下)
主要指标:
使用于被测材料为铝、铜等导电材料
-量程:±0.889mm /±1.915mm
-线性:±0.1~0.5%
-分辨率:1nm
-使用温度:-52~+105ºC
-长期稳定性:0.127µm/月
-很高的灵敏度(395mv/µ)
-频响: 0~22KHZ
-模拟输出:±10V
-供电:±15V
应用:
差动测量:
两个精确匹配的传感器被放置在被测物平台两侧。这两个传感器组成了平衡桥电路的相反的两端。这个结构提供了极好的线性和热稳定性,所以其输出准确地记录了线性的最微小移动。如激光反射镜聚焦平台定位。
低温应用:
20N传感器有一个专门的低温应用版本,它有一个内部伸缩接头,当用螺丝安装一个贝勒维尔垫圈后,可有效消除压力或温度引起的机械变性。已证明其在70°K的液态氮中有最优性能。好几个空间项目在4°K的液态氦环境中使用了此传感器。
真空应用:
传感器和KD-5100的电子器件都已用在10~6托的真空应用中了。
超高精度宇航应用:
已制造出MIL-H-38534。所有电子器件均采用符合MIL-SPEC标准的。KD-5100在战斗环境下的MTBF超过55,000小时,太空飞行环境下超过238,000小时。
小尺寸 (只有 2 x 2.12 x 0.75英寸) :可应用于空间狭小的场合。
商业差动:
KDM-8200微分系统就是KD-5100的一个商业版本。此系统大大减小了微分系统的成本,又保持了性能优势。在重量、大小和能耗没有特殊限定的情况下,这些差动系统是首选。
中继镜片激光定位(RME):
RME演示了一束从地球发射到450公里轨道上人造卫星的激光可以被精确地反射到直径3米的目标地面。
KD5100被用于精确定位60cm的中继镜片,其精度高于试验目标的16倍,视线稳定度高2.3倍。
半导体圆晶片制造中的超高精确激光聚焦:
激光微注技术被用于开发半导体圆晶片制造中的“直接写入”应用和高吞吐量模板图案应用,而且还被融合进0.1微米工艺的产品中。KD5100就被应用到此技术中,精确控制激光的位置,完成超高精确位置、关键尺寸和对齐控制。
其它应用:
精确望远镜定位
磁悬浮轴定位
来自www.51sensors.com 报道,邮箱 info@51sensors.com





































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