KD5100纳米级差动电涡流位移传感器
特性
• 每通道两个精确匹配的传感器使分辨率达到1纳米
• 超耐热，长时间稳定：5x10E-6 英寸/月或更好
• 有耐低温传感器
• 非常高的灵敏度，最高到394 mV/µm
低功耗：小于2W （ ±15 Vdc典型情况下）
主要指标：
使用于被测材料为铝、铜等导电材料
－量程：±0.889mm /±1.915mm
－线性：±0.1~0.5%
－分辨率：1nm
－使用温度：-52～＋105ºC
－长期稳定性：0.127µm/月
－很高的灵敏度(395mv/µ)
－频响: 0～22KHZ
－模拟输出：±10V
－供电：±15V
应用：
差动测量：
两个精确匹配的传感器被放置在被测物平台两侧。这两个传感器组成了平衡桥电路的相反的两端。这个结构提供了极好的线性和热稳定性，所以其输出准确地记录了线性的最微小移动。如激光反射镜聚焦平台定位。
低温应用：
20N传感器有一个专门的低温应用版本，它有一个内部伸缩接头，当用螺丝安装一个贝勒维尔垫圈后，可有效消除压力或温度引起的机械变性。已证明其在70°K的液态氮中有最优性能。好几个空间项目在4°K的液态氦环境中使用了此传感器。
真空应用：
传感器和KD-5100的电子器件都已用在10～6托的真空应用中了。
超高精度宇航应用：
已制造出MIL-H-38534。所有电子器件均采用符合MIL-SPEC标准的。KD-5100在战斗环境下的MTBF超过55,000小时，太空飞行环境下超过238,000小时。
小尺寸 (只有 2 x 2.12 x 0.75英寸) ：可应用于空间狭小的场合。
商业差动：
KDM-8200微分系统就是KD-5100的一个商业版本。此系统大大减小了微分系统的成本，又保持了性能优势。在重量、大小和能耗没有特殊限定的情况下，这些差动系统是首选。
中继镜片激光定位（RME）：
RME演示了一束从地球发射到450公里轨道上人造卫星的激光可以被精确地反射到直径3米的目标地面。
KD5100被用于精确定位60cm的中继镜片，其精度高于试验目标的16倍，视线稳定度高2.3倍。
半导体圆晶片制造中的超高精确激光聚焦：
激光微注技术被用于开发半导体圆晶片制造中的“直接写入”应用和高吞吐量模板图案应用，而且还被融合进0.1微米工艺的产品中。KD5100就被应用到此技术中，精确控制激光的位置，完成超高精确位置、关键尺寸和对齐控制。
其它应用：
精确望远镜定位
磁悬浮轴定位
来自www.51sensors.com 报道，邮箱 info@51sensors.com