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EPI专利产品热质量流量计利用了二个等比匹配的铂电阻传感器（热电阻RTD）。该传感器牢固地安装在探测装置中，惠思顿电桥对其中一个RTD优先加热，而第二个RTD吸收流动气体的温度作为温度参照。由于热量自气体加热的RTD扩散，需要更多的功率--该功率与气体质量流量成正比，从而传感器可以直接测量气体分子的流速。
EPI流量传感器是温度补偿型的，无需压力补偿。这使得传感器可以提供真实的质量流量信号。因为无需校正，信号可以直接与过程或数据采集系统连接。
传感元件包含两个铂金RTD，其接线缠绕在陶瓷体上，外覆一薄层玻璃保护，封装在316不锈钢中。因此，暴露在气体中的为316不锈钢。这种结构坚固耐用，可以很好地适应苛刻的环境，如有腐蚀、磨损、高压的场合及鲁莽操作情况。