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多干扰场景下的液位检测优化方案

发布时间:2025-08-06 17:20   类型:应用案例   人浏览

应用介绍



【行业】SEMI

【设备】清洗机/CDS/SDS

【用途】去除晶圆表面的颗粒污染物、氧化层等

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应用场景


通过侧窗导管显示液位的情况,并对液位进行限制。

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解决课题


■ 气泡、水滴等干扰因素会影响液位检测

■ 有机溶液的结晶化会影响检测

价值提案


核心产品
光纤传感器E32-D36T(卡管型)
光纤放大器E3NX-FA

 备有矩阵型检测光纤,不易受气泡、水滴等干扰因素的影响,实现稳定检测

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 配合E3NX-FA系列放大器的使用:

   (a) 配备DPC功能,快速消除短时间内溶液结晶化的检测干扰

   (b) 配备外部触发或重新示教功能,消除长时间溶液结晶化的干扰

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