多干扰场景下的液位检测优化方案
发布时间:2025-08-06 17:20 类型:
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【行业】SEMI
【设备】清洗机/CDS/SDS
【用途】去除晶圆表面的颗粒污染物、氧化层等
■ 气泡、水滴等干扰因素会影响液位检测
■ 有机溶液的结晶化会影响检测
核心产品
光纤传感器E32-D36T(卡管型)
光纤放大器E3NX-FA
■ 备有矩阵型检测光纤,不易受气泡、水滴等干扰因素的影响,实现稳定检测
(a) 配备DPC功能,快速消除短时间内溶液结晶化的检测干扰
(b) 配备外部触发或重新示教功能,消除长时间溶液结晶化的干扰
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