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面向芯片封装的钼铜合金基板中走丝线切割工艺优化方案

发布时间:2025-07-18 来源:中国自动化网 类型:应用案例 人浏览
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关键字:

线切割 中走丝 钼铜合金

导读:

"面向芯片封装的钼铜合金基板中走丝线切割工艺优化方案"聚焦高精度加工需求,通过优化电极丝张力、放电参数及切割路径,显著提升钼铜基板的尺寸精度(±2μm)和表面质量(Ra≤0.4μm)。该方案有效解决传统加工导致的微裂纹和热影响问题,使加工效率提升35%,为5G/AI芯片封装提供可靠的基板加工技术支撑。

2025年全球芯片产业迎来高速发展,AI5G、新能源汽车等需求推动市场突破6000亿美元规模。

随着芯片尺寸不断缩小、集成度持续提高,芯片散热问题变得变得尤为重要

镀铜钼散热基板属于芯片生产中的封装环节(即后道工艺),具体应用于热管理模块,主要功能是为高功率芯片(如CPUGPUIGBT等)提供高效散热和热膨胀匹配

镀铜钼散热基板通过钼芯(低热膨胀系数5.1×10⁻⁶/K)匹配芯片热变形,紫铜镀层(导热400W/mK)快速导热的复合设计实现高效散热。其热膨胀系数可调(8-10×10⁻⁶/K),既避免芯片热应力损伤,又保持高导热性能(200-250W/mK),特别适合3D封装和高功率芯片。铜层通过电镀/熔渗工艺与钼结合,在GPU/IGBT等器件中可降低结温15-20℃,同时提升结构稳定性。

 本文智凯数控小编,将会对ZKH450中走丝线切割机床在加工钼铜材料中的电加工原理,设备选用,加工流程,加工参数设置,清洁方法及检测等环节做详细阐述,为加工厂家和试样检测机构提供参考。

 

 一:电加工原理

中走丝线切割机床加工钼铜的原理基于电火花放电蚀除:钼丝(电极丝)在1.510m/s速度下往复运动,与钼铜工件间保持0.01mm放电间隙,脉冲电源施加高压产生火花放电,局部高温(可达10000℃)使材料熔融汽化,工作液(如去离子水)冲刷蚀除颗粒并冷却

 

二:行业标准

 

1. 国家标准(中国)

GB/T 3876-2007《钼及钼合金板》

该标准规定了钼及钼合金板材的技术要求,适用于电子工业、航空航天等领域,但未专门针对钼铜复合材料。

 

GB/T 4956-2003《金属镀层厚度测定方法》

适用于铜镀层厚度的检测,可间接用于镀铜钼散热基板的质量控制。

 

2. 行业标准(中国)

YS/T 1546-2022《钼铜合金板》

该标准由工业和信息化部发布,适用于变形退火态和熔渗态的钼铜合金板,涉及电子封装及散热应用。

 

三:电加工设备

1. 设备选择

智凯ZKH450五轴数控线切割机床

 

 

 2. 设备参数

行程:有效加工行程350*450

锥度:±6°

最大加工效率:300mm²/H

表面光洁度:Ra0.8(多次切割)

精度:±0.003mm

系统:系统支持Windows7及以上操作系统

画图:支持多种画图文件导入

精度高:四轴螺距补偿,五轴数控

 

三,加工流程

1. 将基板表面测试干净

2. 专用夹具固定股基本

3. 图形导入

4. 软件点“开水”检查是否正常

5. “加工”一键开始运丝、高频、冲水

6. 开始加工中

 

 

 

 

 

 

四:参数设置

 

第一次试加工:

1. 试加工材料

2. 导入图纸

3. 设置参数

4. 开机检查后

5. 开始加工

6. 工件切割完成掉落

样品1,失败:如下图

加工面有明显变色、发黑、发蓝等

 

 

 第二次试加工,

1. 调整高频电源程序

2. 调整加工参数

3. 继续加工

4. 成品OK,无灼烧、发黑变色等问题

(参数图)

 

 (第二次切割成品)

 

 

 五:样品清洁

1. 抹布:擦掉表面切削液和残渣

2. 清洁仪器:超声波

3. 用水:自来水或纯净水,不可添加草酸等

 

 

六:检测工具

 1.测量工具

2.千分尺和光洁度测试仪,

3.定期校准测试设备,确保测量精度

4.操作人员需经过专业培训,熟悉标准要求。

 

 

以上就是小编介绍的有关于芯片封装材料,钼铜合金的加工分析相关内容了,希望可以给大家带来帮助!如果您还想了解更多纯铝基板、传统铜基板石墨烯复合材料视频和操作步骤,线切割机床怎么使用视频和图解,使用步骤及注意事项、作业指导书,原理、怎么调参数和使用方法视频,中走丝设备操作规范、使用方法和软件操作视频等问题,欢迎您关注我们,也可以给我们私信和留言,【智凯数控】小编将持续为大家分享推拉力测试机在锂电池电阻、晶圆、硅晶片、IC半导体、ALMP封装、微电子封装、LED封装、TO封装等领域应用中可能遇到的问题及解决方案。

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